ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典 「イオン注入」の意味・わかりやすい解説
イオン注入
イオンちゅうにゅう
ion implantation
出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
出典 ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典ブリタニカ国際大百科事典 小項目事典について 情報
出典 株式会社平凡社百科事典マイペディアについて 情報
(荒川泰彦 東京大学教授 / 桜井貴康 東京大学教授 / 2007年)
出典 (株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」知恵蔵について 情報
…イオン注入ともいう。基体材料とは異なる元素のイオンを,数keV~数MeVのエネルギーに加速して基体表面に打ち込み,表面の改質を行う方法。…
…(3)特定の種類の元素をウェーハー,または表面の膜中に導入すること。これにはイオン注入と拡散がある。この元素はシリコンに対して異種なので,不純物といわれる。…
※「イオン注入」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
外国人や外国の思想・文物・生活様式などを嫌ってしりぞけようとする考え方や立場。[類語]排他的・閉鎖的・人種主義・レイシズム・自己中・排斥・不寛容・村八分・擯斥ひんせき・疎外・爪弾き・指弾・排撃・仲間外...
4/12 日本大百科全書(ニッポニカ)を更新
4/12 デジタル大辞泉を更新
4/12 デジタル大辞泉プラスを更新
3/11 日本大百科全書(ニッポニカ)を更新
2/13 日本大百科全書(ニッポニカ)を更新