化学辞典 第2版 「光CVD」の解説
光CVD
ヒカリシーブイディー
photo chemical vapor deposition
プラズマCVDと同じ考え方で，ガスの分解エネルギーを光で与えて成膜を行う方法．プラズマではそのエネルギーを制御することは難しいため，特定の生成種が得られるようにすることは大変困難であるが，光の場合には波長によりエネルギーが制御できるので，目的とする結合を容易に切ることができ，成膜に必要とする生成種を得やすいという特徴をもつ．しかし，光を導入するための窓層への堆積が起こり，基板上まで十分な光エネルギーが供給できないという問題点がある．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報