デジタル大辞泉 「成膜」の意味・読み・例文・類語 せい‐まく【成膜】 物体表面に薄膜を形成すること。特に、半導体チップの製造において、シリコンウエハーの表面に回路となる配線膜や絶縁膜を形成することをさす。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
