三弗化窒素(サンフッカチッソ)とは？意味や使い方

デジタル大辞泉「三弗化窒素」の意味・読み・例文・類語

窒素と弗素の化合物。無色無臭の気体。水に難溶。常温では化学的に安定で、温度が上がると酸化力が強くなる。半導体集積回路のプラズマエッチングに用いられる。温室効果ガスの一種で、二酸化炭素の約1万7千倍の地球温暖化係数をもつ。化学式NF₃

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