リソグラフィー

デジタル大辞泉

リソグラフィー（lithography）

《「リトグラフィー」とも》
１ 石版印刷。また、その技術。
２ 「フォトリソグラフィー」の略。

出典　小学館

精選版 日本国語大辞典

リソグラフィー

〘名〙 (lithography) ＝リトグラフィー

出典　精選版 日本国語大辞典

化学辞典 第2版

リソグラフィー
リソグラフィー
lithography

【Ⅰ】トランジスターのパターンや配線などをつくるために使われる写真技術の応用．薄膜上に光や電子ビームにより架橋反応や結合が切れたりして，分子量が変化する有機物質を形成する．これは写真では感光に相当する．そして，必要なパターンに応じて有機物質に光や電子ビームを照射する．その後，分子量が変化したため，溶媒中で不要な部分が溶解した有機膜のパターンができる．これが写真の現像に相当する．これをマスクにして薄膜をエッチング除去してパターンを形成する．感光に用いた光により名称が異なり，紫外線の場合をとくにフォトリソグラフィーという．感光のための光の波長により加工できる最小寸法が決まるので，短波長の光源開発が重要となる．波長の短い電子線では，それ自体のオン・オフでパターンを任意に形成できるというメリットがあるが，パターンの描画に時間がかかるという問題がある．X線を用いた場合には，X線を透過しないマスク材料の開発が問題となっている．【Ⅱ】半導体素子の発達以前は，リソグラフィーとは石版印刷や平版印刷のことであった．

出典　森北出版「化学辞典（第2版）」