ファインパターン・プロジェクション・マスク・アライナ(ステッパ) FPA-141F（読み）ふぁいんぱたーんぷろじぇくしょんますくあらいなすてっぱFPA141F

事典 日本の地域遺産

ファインパターン・プロジェクション・マスク・アライナ(ステッパ) FPA-141F

(栃木県宇都宮市 宇都宮大学オプティクス教育研究センター)
「重要科学技術史資料(未来技術遺産)」指定の地域遺産〔第00066号〕。
世界で初めて1ミクロン以下の露光を可能にしたステッパの草分け的存在。〈製作者(社)〉キヤノン株式会社。〈製作年〉1975(昭和50)年

出典　日外アソシエーツ「事典 日本の地域遺産」