化学辞典 第2版 「ISFETセンサー」の解説
ISFETセンサー
アイエスエフイーティーセンサー
ISFET sensor
ISFETとは，イオン選択性電界効果トランジスター(Ion Selective Field Effect Transistor)の略称で，ISFETセンサーとは，電界効果トランジスター(FET)のゲート部分に特定のイオンに感じるイオン感応膜を付け，イオン感応性にしたものである．感応膜が溶液と接する界面の電位がイオン活量に応じて変化し，ゲート電位が変化することを利用する．照合電極を用いて溶液とソース間に一定電圧をかけた場合にはドレイン電流の変化から，また，ドレイン電流を一定に保った場合にはソース-参照電極間の電圧変化からイオン活量の変化を知ることができる．理想的な場合にはイオン活量に対してネルンスト応答する．窒化ケイ素Si3N4や酸化タンタルTa2O5を感応膜としたISFETがpHセンサーとして実用化されている．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報