ヘリウムリークディテクター（英語表記）helium leak detector

デジタル大辞泉の解説

真空装置などの気密性を検査するリークディテクターのうち、特に微細な隙間からの漏れを検出する装置。ヘリウム分子がふつうの気体分子に比べて小さい性質を利用し、漏れを高精度で検出する。

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