化学辞典 第2版 「差動排気」の解説
差動排気
サドウハイキ
differential pumping
質量分析計でイオン源内の試料圧を高め，かつ分析管やイオン検出部を低圧に保つための排気をいう．原子線，分子線の実験に通常使用されている．
図に示すように，イオン源部と分析部および検出部などを，スリットをもつ障壁でいくつかの室に分け，各室を個別に排気する．差動排気は，イオン，励起種，電子などと気体の相互作用の研究に用いる装置に広く使用されている．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報