デジタル大辞泉 「半導体露光装置」の意味・読み・例文・類語 はんどうたい‐ろこうそうち〔ハンダウタイロクワウサウチ〕【半導体露光装置】 シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける装置。基板をステップ状に移動させるステッパーと、基板とフォトマスクを同時に動かすスキャナーの二方式がある。縮小投映露光装置。 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
