RGA（読み）あーるじーえー

世界大百科事典（旧版）内のRGAの言及

【真空計】より

…得られたデータから成分の組成と分圧とを算出することは，原理的には可能であるが，精度が悪く，ほとんど行われていない。定性的な，あるいは半定量的な分析に使用されるので，真空分析計vacuum analyzer，あるいは残留ガス分析計residual gas analyzer(RGA)と呼ばれることが多い。【中山 勝矢】。…

※「RGA」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典｜株式会社平凡社「世界大百科事典（旧版）」