ESCA（読み）エスカ

改訂新版　世界大百科事典

ESCA (エスカ)

→電子分光

出典　株式会社平凡社「改訂新版　世界大百科事典」

世界大百科事典（旧版）内のESCAの言及

【電子顕微鏡】より

…照射系は3段の集束レンズ(コンデンサーレンズ)よりなり，試料面上で2nmの非常に細い電子線束が透過モードで得られ，結像系は6段よりなり，倍率は50倍から100万倍と広範囲に可変でき，分解能は0.14nmである。(2)走査形電子顕微鏡　走査形電子顕微鏡には，普及形走査電子顕微鏡，X線分光器を備えたX線マイクロアナライザー超高分解能像観察用の電界放射形走査電子顕微鏡，また試料のごく表面層のみの分析用にオージエ，ESCAがある。走査形電子顕微鏡の鏡筒上部には電子銃が位置し，その下に電子線の束を細くする集束レンズが，そしてその下に対物レンズがある。…

※「ESCA」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

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