デジタル大辞泉 「高温ポリシリコン」の意味・読み・例文・類語 こうおん‐ポリシリコン〔カウヲン‐〕【高温ポリシリコン】 セ氏1000度以上で形成する多結晶シリコン。アモルファスシリコンを再結晶させることで形成する。高温に耐える石英ガラス基板を使用する必要があり、製造コストが高く、大型化が困難という欠点をもつ。HTPS（high temperature polysilicon）。→低温ポリシリコン 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
