極紫外線リソグラフィー(読み)キョクシガイセンリソグラフィー

デジタル大辞泉 「極紫外線リソグラフィー」の意味・読み・例文・類語

きょくしがいせん‐リソグラフィー〔キヨクシグワイセン‐〕【極紫外線リソグラフィー】

EUVリソグラフィー

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