デジタル大辞泉 「六弗化ブタジエン」の意味・読み・例文・類語 ろくふっか‐ブタジエン〔ロクフツクワ‐〕【六×弗化ブタジエン】 弗素化合物の一。半導体集積回路の製造工程において、ドライエッチングの洗浄剤として用いられる。大気寿命が短いため、環境負荷が小さく、地球温暖化係数が高いトリフルオロメタンなどの代替品となる。ヘキサフルオロ-1,3-ブタジエン。化学式C4F6 出典 小学館デジタル大辞泉について 情報 | 凡例
