光重合型感光性樹脂(読み)ひかりじゅうごうがたかんこうせいじゅし

世界大百科事典(旧版)内の光重合型感光性樹脂の言及

【感光性樹脂】より

…このことを応用し,フォトレジストとしてIC製造などに広く利用されている。(3)光重合型感光性樹脂 種々のタイプのものがあるが,基本的には不飽和ポリマーやビニルモノマーに光を照射して重合させる際に起こる物性(溶剤に対する溶解度)の変化を利用するものである。この型のものは,数mmの厚さの層を硬化させることができるので,樹脂凸版版材に応用されることが最も多い(樹脂そのものが版として用いられ,一般にこれを感光性樹脂版という)。…

※「光重合型感光性樹脂」について言及している用語解説の一部を掲載しています。

出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」