世界大百科事典(旧版)内の三塩化シランの言及
【ケイ素(珪素)】より
…その工程は次のとおりである。 工業用ケイ素に300℃で無水の塩化水素を通じて,三塩化シランSiHCl3をつくる(三塩化シランは沸点31.8℃,融点-127℃で,空気中の水蒸気と激しく反応する)。次いでこの三塩化シランを精留して不純物を除去し,水素還元して多結晶ケイ素を得る。…
※「三塩化シラン」について言及している用語解説の一部を掲載しています。
出典|株式会社平凡社「世界大百科事典(旧版)」
…その工程は次のとおりである。 工業用ケイ素に300℃で無水の塩化水素を通じて,三塩化シランSiHCl3をつくる(三塩化シランは沸点31.8℃,融点-127℃で,空気中の水蒸気と激しく反応する)。次いでこの三塩化シランを精留して不純物を除去し,水素還元して多結晶ケイ素を得る。…
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