マイクロアクチュエータ（英語表記）micro actuator

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マイクロアクチュエータ
micro actuator

マイクロロボット用アクチュエータ。顕微鏡下での細胞ハンドリングや半導体チップの取り扱い用の超小型ハンドを構成するものである。マイクロアクチュエータの原理としては，静電力，光と熱，圧電効果，超音波，高分子ゲルの延伸性を用いたものなどがあり，実用化が期待されている。半導体製造技術によって作られた静電モータには，直径が約 100μm，厚さ数μmのものがある。

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