ピラニア洗浄（読み）ピラニアセンジョウ

デジタル大辞泉「ピラニア洗浄」の意味・読み・例文・類語

ピラニア溶液による有機物の洗浄方法。シリコンウエハーからレジストを除去する際に用いられる。

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