ナノメトロロジー（読み）なのめとろろじー（英語表記）nano-metrology

知恵蔵

ナノメトロロジー

ナノ(10億分の1の意味)という国際単位系の中の接頭語を用いた用語「ナノテクノロジー」は、技術用語としても一般化されて、国家プロジェクトの中にも頻繁に採用されている。計測計量の分野でも早くから、ナノメトロロジーとして微小領域での時間、長さ・幾何学量、質量、化学分析などの分野で重要視されてきた。特に材料創生に関わる微粒子の計測や半導体チップの三次元的寸法・形状の評価において、ナノグラム(ng)、ナノメートル(nm)などの単位での信頼性が求められている。近年では、さらに小さいピコ(1兆分の1)グラム、フェムト(千兆分の1)秒なども聞かれるようになり、技術の進展の速さがうかがえる。

(今井秀孝 独立行政法人産業技術総合研究所研究顧問 ／ 2008年)

出典　(株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」