クリーン・ルーム（読み）くりーんるーむ（英語表記）clean room

知恵蔵

クリーン・ルーム

半導体素子や集積回路の製造を行うために、微小なほこりまで極度に少なくした作業室。極めて目の細かいフィルターを通して清浄化した空気を、天井から流し込み、金網状の床から下へ流し去るダウン・フロー方式が主流である。またウエハの流れる部分のみを超クリーン化したクリーン・トンネル法もある。温度、湿度制御もする。入室時は白衣やマスクを着用する。近年では、極度にほこりを減らし、さらに純水やガス、真空装置内までを極度に清浄化したスーパークリーン技術や、配管の内壁や装置の内壁のクリーンさにまで気を配るウルトラクリーン技術が開発されている。

(荒川泰彦 東京大学教授 ／ 桜井貴康 東京大学教授 ／ 2007年)

出典　(株)朝日新聞出版発行「知恵蔵」