化学辞典 第2版 「エキシマーレーザー」の解説
エキシマーレーザー
エキシマーレーザー
excimer laser
希ガス原子どうし，希ガス原子とハロゲン原子，水銀とハロゲンなどの励起二量体，まれには三量体の電子遷移によるレーザー．希ガス原子どうしでは数十気圧，希ガスとハロゲンでは1～数気圧で放電させて発生させる．Ar2(126 nm)，Kr2(146 nm)，F2(157 nm)，Xe2(172 nm)，ArF(192 nm)，KrF(248 nm)，XeCl(308 nm)などがしばしば紫外光源として利用されている．
出典 森北出版「化学辞典（第2版）」化学辞典 第2版について 情報